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HIDEN RGA系列殘余氣體分析四極質譜儀檢測容器中的存在組分，或進行過程中產(chǎn)生氣體的分析。針對真空診斷的準確分析。

HIDEN HMT 100－RC 高壓殘余氣體分析儀-四極質譜儀（High Pressure Residual Gas Analyser），*的雙重模式RGA系統(tǒng)，檢測已存在的、或生產(chǎn)過程中形成的氣體。針對真空診斷以及過程監(jiān)測。

分子束外延殘余氣體分析四極質譜儀用于泄漏探測、趨勢分析、真空診斷的過程監(jiān)測和殘余氣體的分析。該分子束外延特定分析質譜儀由兼容性材料組成，并能在分子束外延環(huán)境中長期使用。